众所周知，在组成光刻机的所有核心精密零件中，光学镜头和光学光源，以及双工作台又可以说是其核心中的核心。
一台光刻机的光学光源所包含的光源波长，是决定光刻机工业能力的重要部分。
而光刻机所需要的光源，必须具备体积小、功率高以及稳定的几个特点。
而镜头系统负责将极紫外光线打在晶圆表面上的部分，由于晶圆对于光刻机工作时曝光所需要的光源纯度，以及光纤覆盖率要求非常高，这也就意味着其对于用于打光的光学镜头有着极其严苛的要求。
而目前为止，世界上最为先进的EUV极紫外光刻机，唯一可以使用的镜头，就只有德意志蔡司公司生产的镜头。
作为涉及领域涵盖摄影、测量、显微镜、医疗、天象仪等等很多高精密领域的德意志蔡司公司来说，光学镜片的发展历史始终都有蔡司的身影，
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